真空炉の圧力範囲

真空炉の分圧範囲とは、真空引き後の全圧中の各種残留ガスの分圧レベルを指します。真空環境は完全にガスが存在しないわけではなく、窒素、酸素、水素、水蒸気などのさまざまなガスで構成されているため、分圧範囲はプロセス中の酸化や材料の反応の程度に直接影響します。

従来の工業用真空熱処理プロセスでは、全真空レベルは通常 10-1 Pa ～ 10-3 Pa に達します。このレベルでは、さまざまな残留ガスの分圧がそれに応じて低くなり、水蒸気と酸素の分圧は通常、酸化、脱炭、汚染のリスクを軽減するためにさらに低いレベルに制御されます。この段階は、ほとんどの金属の焼きなまし、ろう付け、焼き入れのプロセスに適しています。

要求の厳しいプロセスや高真空条件 (10-3 Pa ～ 10-5 Pa など) では、残留ガスの分圧、特に酸素と水蒸気の分圧がさらに低下し、極めて低いレベルに制御されるため、表面反応や不純物の影響が大幅に減少します。必要に応じて不活性ガス（アルゴンなど）を充填して分圧を調整し、特殊材料加工や精密熱処理などのプロセス要件に対応します。